LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應(yīng)用。自帶2場(chǎng)EPIFLEX讀數(shù)模塊，也適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。

• 真空版LIK 21，外殼版本1
• 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場(chǎng)掃描）
• 光柵尺部件滿(mǎn)足真空度達(dá)10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
• 支持150 °C時(shí)12小時(shí)的加熱周期
• 1 Vpp或RS 422輸出信號(hào)
• 多達(dá)100倍的細(xì)分信號(hào)
• 最小測(cè)量步距僅50 nm
• 運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s（1 Vpp）