用于三維坐標(biāo)測量的納米定位和納米測量機(jī)工作在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的測量范圍內(nèi)，分辨率為 0.1 nm。特殊的傳感器布置確保在所有三個坐標(biāo)軸上進(jìn)行無誤差測量. 三個帶有用于長度測量的平面鏡反射器的微型干涉儀的測量軸在接觸式傳感器與測量對象的接觸點(diǎn)處幾乎相交。測量對象直接位于可移動的鏡角上。鏡角的位置由三個固定的微型干涉儀記錄。鏡角采用三軸驅(qū)動系統(tǒng)定位。定位過程中的角度偏差通過兩個角度傳感器進(jìn)行測量和校正。

高精度的3D多傳感器定位和測量系統(tǒng)

在所有三個測量軸上都實(shí)現(xiàn)了阿貝比較器原理

可選的探測系統(tǒng)用作零指示器并且是可互換的