Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥，其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標(biāo)準。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計。我們所有閥門的設(shè)計均符合 SEMI 規(guī)范，具有高可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容?？蛻繇毚_保所選部件是符合其防護性能的適當(dāng)部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等

CDV：1/4" 2 端口閥 (1-2)

內(nèi)螺紋端面密封，旋轉(zhuǎn)

氣動操作 N.C.

VESPEL 316L SST semi F20

更高純度

• 端口配置代號（入口 - 出口）

a = 雙端口閥門 (1-2)

b =2 端口閥 (3-1)

c =3 端口閥 (3-1/2)

d =3 端口閥 (2-1/3)

e =3 端口閥 (1-2/3)

f =3 端口閥 (1/2-3)

g =3 端口閥 (1/3-2)

h =3 端口閥 (2/3-1)

i =4 端口閥 (1/3/4-2)

j =4 端口閥 (1-2/3/4)

k =4 端口閥 (1/2-3/4)

l =4 端口閥 (1/4-2/3)

m =2 端口閥 (5-1)

N =2端口閥 (1-3)

• 連接類型代號

FS = 內(nèi)螺紋端面密封，旋轉(zhuǎn)式

mv = 外螺紋端面密封

ms = 外螺紋端面密封，旋轉(zhuǎn)式

TS = 卡套管

• 閥座材料代號

K = PCTFE (KEL-F)

V = VESPEL

P = PEEK

F = PFA / ASTM D3307, 類型 II

• 材料代號

S = 316L SST semi F20

A = 316L

N = 鎳 200

M = 鎳 400

H = 鎳合金 C22

• 純度代號

S = 標(biāo)準表面處理

H = 高純度

U = 更高純度

產(chǎn)地：美國

工作壓力：真空至 150 psig

端口配置：2 端口閥 (1-2)

連接 1 類型：外螺紋端面密封，旋轉(zhuǎn)式

連接 2 類型：外螺紋端面密封，旋轉(zhuǎn)式

工作溫度：-10 至 150 ℃(15 至 300 ℉)

主體材料：316L SST semi F20

純度等級：更高純

閥座材料：vespel

執(zhí)行機構(gòu)特征：1/8"-27 npt

隔膜材料：elgiloy

流量系數(shù)：0.3 cv

潤濕表面光潔度：5 ra

清洗：超聲波清洗和電拋光

驅(qū)動類型：氣動控制 N.C.

爆破壓力：4500 psig

執(zhí)行壓力：65 至 125 psig

連接尺寸：1/4 英寸

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案